如何测微小电容？？？

我现在做的一个项目，需要对pF级的电容进行测量，容值范围在5-30pF，我想咨询一下有没有人做过这种针对微小电容的测量。采用什么方案比较好或者有没有专用的电容测量芯片？

Andy Tan：

你好，看到过通过振荡电路，即根据不同的容值 振荡出不同频率的原理进行微小电容测量的。你可以搜着看下。

Abner White：

回复 Andy Tan:

我之前也看到过一种用555电路构成振荡电路，通过测量频率来得到电容值，但是电容这么小很容易受到寄生电容等因素影响，精度不高

Andy Tan：

回复 Abner White:

楼主，你的考虑是合理的，振荡电路中寄生电容对其影响是不能忽视的。

从百度文库上看到一篇文章讲到，通过恒流源对两个电容同时进行相同时长充电（其中一个是待测电容），对其两个电容的充电电压的差值进行放大输出到AD（过后进行充分放电）。采样多次，取其均值，得到的结果很大程度上避免了的寄生电容的影响（差分放大输出）。不过对于器件的选择会比较讲究。